パルス電圧励磁による非接触型シート抵抗測定器の開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/02/01

タイトル(英語): Development of Contactless Measuring Instrument for Sheet Resistance by Means of Pulse Voltage Excitation

著者名: 早乙女　英夫（千葉大学 大学院 工学研究科），大井　翔太（千葉大学 大学院 工学研究科），金子　弘明（千葉大学 大学院 工学研究科）

著者名(英語): Hideo Saotome (Graduate School of Engineering, Chiba University), Shota Oi (Graduate School of Engineering, Chiba University), Hiroaki Kaneko (Graduate School of Engineering, Chiba University)

キーワード: シート抵抗，非接触型測定，パルス電圧励磁　　sheet resistance，contactless measurement，pulse voltage excitation

要約(英語): The sheet resistance of a silicon wafer has conventionally been measured with the four-point probe technique and/or high frequency sinusoidal magnetic excitation with a Robinson marginal oscillator as an excitation current supply. The authors propose a novel contactless method of measuring sheet resistance that utilizes a pulse voltage to generate an eddy current in the sheet under test. The novel method can measure the sheet resistance under 5 mΩ/sq., that is the smallest value the conventional contactless method can measure.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.2 （2013）

本誌掲載ページ: 52-53 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/2/133_52/_article/-char/ja/