2電極静電アクチュエータを用いた高駆動分解能MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/02/01

タイトル(英語): High Position Resolution MEMS Fabry-Perot Tunable Filter with Dual Electrodes Electrostatic Actuator

著者名: 廣久保　望（セイコーエプソン（株）／信州大学大学院総合工学系研究科），小松　洋（セイコーエプソン（株）），橋元　伸晃（セイコーエプソン（株）），曽根原　誠（信州大学工学部），佐藤　敏郎（信州大学工学部）

著者名(英語): Nozomu Hirokubo (Seiko Epson Corporation/Interdisciplinary Graduate School of Science and Technology, Shinshu University), Hiroshi Komatsu (Seiko Epson Corporation), Nobuaki Hashimoto (Seiko Epson Corporation), Makoto Sonehara (Faculty of Engineering, Shinshu University), Toshiro Sato (Faculty of Engineering, Shinshu University)

キーワード: MEMS，ファブリ・ペローフィルタ，可変，アクチュエータ，分解能　　MEMS，Fabry-Perot filter，Tunable，Actuator，Resolution

要約(英語): In this paper, we report a MEMS Fabry-Perot tunable filter with Dual Electrodes Electrostatic Actuator (DEEA) which improves the resolution of the mirror gap positioning. This device improved positioning resolution by changing two actuators of the DEEA and achieved the higher resolution less than 0.1nm by using 12bit driver circuit.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.2 （2013）

本誌掲載ページ: 54-55 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/2/133_54/_article/-char/ja/