一対の熱式マイクロ・アクチュエータによる交互駆動光マイクロスキャナ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/04/01

タイトル(英語): Optical Microscanner Using a Pair of Thermal Microactuators with Alternating Drive

著者名: 齊藤　修太郎（千葉工業大学），室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Syutaro Saito (Chiba Institute of Technology), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: マイクロ・アクチュエータ，熱式，マイクロスキャナ，台形，交互駆動　　Microactuators，Thermal，Microscanner，Trapezoid，Alternating drive

要約(英語): Prototypes of optical microscanners using a pair of thermal microactuators have been designed, fabricated and evaluated. A micromirror with an area of 200×200μm is suspended by a pair of serpentine beams which are connected to a pair of thermal microactuators. The tilted angle of the mirror was simulated using FEM simulator Intelli Suite to optimize the beam parameters. The measured scan angle was about ±1.8°, which agreed reasonably well with the simulated results.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.4 （2014）

本誌掲載ページ: 79-84 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/4/134_79/_article/-char/ja/