デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/04/01

タイトル(英語): Micromachining of Titanium using a Desktop DRIE

著者名: 山田　周史（新潟大学大学院 自然科学研究科），人母　岳（立山マシン（株） 技術本部），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Shuji Yamada (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takeshi Hitobo (Tateyama Machine Co., LTD.), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: チタニウム，反応性イオンエッチング，DRIE，バイオミメティクス，F系ガス，MEMS　　Titanium，Reactive Ion Etching，DRIE，Biomimetics，Fluorine gas，MEMS

要約(英語): In this paper, we report a micromachining of titanium using a desktop DRIE and fabrication of microstructure. We found out high speed exhaust characteristic is indispensable in the etching of titanium, and the etching rate more than 0.2 μm/min (a maximum rate is 0.4 μm/min) was provided in a small amount of etching gas (SF6). As the demonstration of the method, we fabricated microneedles imitating mosquito's proboscis. We revealed that it is available for fabricating precision microstructure. Titanium has excellent mechanical property and corrosion resistance, and it is expected to be used as a material for MEMS. In this method, it is expected to apply to fabricate the three-dimensional structures.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.4 （2014）

本誌掲載ページ: 96-99 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/4/134_96/_article/-char/ja/