機械共振による変位拡大を利用した焦点可変ミラーの基礎特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/08/01

タイトル(英語): Basic Characteristics of Displacement-amplified Dynamic Varifocal Mirror using Mechanical Resonance

著者名: 佐々木　敬（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻），佐藤　大紀（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻），中澤　謙太（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻），羽根　一博（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻）

著者名(英語): Takashi Sasaki (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Daiki Sato (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Kenta Nakazawa (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Kazuhiro Hane (Department of Nanomechanics, Tohoku University)

キーワード: 焦点可変ミラー，マイクロミラー，共振，変位拡大，共焦点顕微鏡　　Varifocal mirror，micro-mirror，resonance，displacement-amplification，confocal microscope

要約(英語): We have evaluated basic characteristics of a displacement-amplified dynamic varifocal mirror using mechanical resonance. An electrostatically actuated varifocal mirror was fabricated from silicon-on-insulator wafer and glass plate. The estimated displacement amplification of varifocal mirror was approximately 150 by using the mechanical resonance at pressure of 2 Pa. In the displacement amplified state, the beam focusing was confirmed. The confocal measurement was successfully demonstrated using the displacement-amplified dynamic varifocal mirror.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.8 （2014）

本誌掲載ページ: 253-257 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/8/134_253/_article/-char/ja/