MEMSマイクロミラーアレイを用いた静電気分布測定

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/12/01

タイトル(英語): Electrostatic Field Distribution Measurement Using MEMS Micro-mirror Array

著者名: 栗山　敏秀（近畿大学），高辻　渉（和歌山県工業技術センター），伊東　隆喜（和歌山県工業技術センター），前田　裕司（和歌山県工業技術センター），中家　利幸（阪和電子工業（株）），松井　順（阪和電子工業（株）），宮本　佳明（阪和電子工業（株））

著者名(英語): Toshihide Kuriyama (Kinki University), Wataru Takatsuji (Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture), Takaki Itoh (Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture), Hiroshi Maeda (Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture), Toshiyuki Nakaie (Hanwa Electronic Ind. Co., Ltd.), Jun Matsui (Hanwa Electronic Ind. Co., Ltd.), Yoshiaki Miyamoto (Hanwa Electronic Ind. Co., Ltd.)

キーワード: 静電気分布，MEMSマイクロミラーアレイ，2次元光学スキャナー，Position sensitive detector　　Electrostatic field，MEMS Micro-mirror array，Two-dimensional optical scanner，Position sensitive detector

要約(英語): Electrostatic field distribution measurement using a silicon micro-mirror array fabricated by Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) process has been presented. The deflection angle of each micro-mirror, which is placed on a spherical surface and is deflected by electrostatic field, was measured optically using a two-dimensional optical scanner and a position sensitive detector (PSD). The obtained electrostatic data showed good agreement with Coulomb's law and the system was applied to measure the electrostatic field distribution of charged substance.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.12 （2014）

本誌掲載ページ: 378-384 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/12/134_378/_article/-char/ja/