P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの感度改善

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/05/01

タイトル(英語): Improvement of Sensitivity of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中　恒久（大阪府立産業技術総合研究所），村上　修一（大阪府立産業技術総合研究所），宇野　真由美（大阪府立産業技術総合研究所），山下　馨（京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科）

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Shuichi Murakami (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Mayumi Uno (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Kaoru Yamashita (Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ，MEMS，P(VDF/TrFE)，ダイアフラム，薄膜，樹脂　　Ultrasonic Sensor，MEMS，P(VDF/TrFE)，Diagram，Thin Film，Polymer

要約(英語): MEMS (microelectromechanical systems) ultrasonic sensors were fabricated using a polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene (P(VDF/TrFE)) copolymer thin film on multilayered diaphragm structures. We developed a new diaphragm structure to improve the sensitivity through lowering the stiffness of the vibration part of the sensor compared to the conventional ones. The new sensor structure improved the sensitivity up to about 5 times compared to conventional the ones. Fabricated sensors with the new structure showed their sensitivity, resonant frequency and Q-value as -74 dB (1V/Pa = 0 dB), 89.2 kHz and 24, respectively.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.5 （2016） 特集：平成27年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 134-141 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/5/136_134/_article/-char/ja/