「マイクロマシン・MEMSを支えるナノテク技術」― 特集号によせて ―

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/11/01

タイトル(英語): Preface to the Special Issue on “Nanotechnology for Micromachines and MEMS”

著者名: 安藤　妙子（立命館大学）

著者名(英語): Taeko Ando (Ritsumeikan University)

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.11 （2016） 特集：マイクロマシン・MEMSを支えるナノテク技術

本誌掲載ページ: 460-460 p

原稿種別: 巻頭言／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/11/136_460/_article/-char/ja/