水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/08/01

タイトル(英語): Heterogeneous Bonding Between Cyclo-olefin Polymer (COP) and Glass-like Substrate by Newly Developed Water Vapor Assisted Plasma, Aqua Plasma Cleaner

著者名: 寺井　弘和（サムコ（株）），舩橋　理佐（サムコ（株）），橋本　泰知（サムコ（株）），角田　正也（シスメックス（株））

著者名(英語): Hirokazu Terai (Samco Inc.), Risa Funahashi (Samco Inc.), Taichi Hashimoto (Samco Inc.), Masaya Kakuta (SYSMEX CORPORATION)

キーワード: マイクロフルイディクス，COP，ガラス，水蒸気プラズマ，常温接合，超親水化_x000D_　　microfluidics，COP，glass，water vapor plasma，room temperature bonding，superhydrophilic

要約(英語): To develop high performance and low cost microfluidic devices, heterogeneous bonding with cyclo-olefin polymer (COP) and glass substrate was investigated by low pressure plasma using water vapor. COP and glass-like substrate were bonded at room temperature under its own weight, and the bonding strength reached the breaking point of base material strength. Water contact angle of the COP and glass surface after water vapor plasma was less than 1° (superhydrophilic) and showed stable hydrophilicity even after 30 days. Water vapor plasma and COP surface were analyzed by optical emission spectroscopy(OES) and x-ray photoelectron spectroscopy(XPS) to study the reaction of room temperature bonding.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.8 （2018） 特集：バーチャルリアリティを実現するセンサ，アクチュエータとディスプレイ

本誌掲載ページ: 358-364 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/8/138_358/_article/-char/ja/