電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/08/01

タイトル(英語): Electromagnetic Silicon MEMS Resonator

著者名: 渡部　善幸（山形県工業技術センター），矢作　徹（山形県工業技術センター），阿部　泰（山形県工業技術センター），村山　裕紀（山形県工業技術センター）

著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe (Yamagata Research Institute of Technology), Toru Yahagi (Yamagata Research Institute of Technology), Yutaka Abe (Yamagata Research Institute of Technology), Hiroki Murayama (Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: 電磁駆動，誘導検出，MEMSレゾネータ，マルチモーダルセンサ，振動検出型_x000D_　　electromagnetic drive，electromotive force detection，MEMS resonator，multi-modal sensor，vibration sensing

要約(英語): We have fabricated a silicon MEMS resonator aiming at multi-modal sensors, and evaluated vibration characteristics by electromagnetic drive and induced electromotive force detection. The resonance frequency of the driving voltage of 0.6 Vpp shows torsional vibration of approximately 87 kHz, and the resonance frequency is shifted toward the low frequency side as the driving voltage increases. Resonance characteristics due to temperature change and thin film stress were evaluated.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.8 （2018） 特集：バーチャルリアリティを実現するセンサ，アクチュエータとディスプレイ

本誌掲載ページ: 365-369 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/8/138_365/_article/-char/ja/