対面形吸着層を用いた半導体式薄膜ガスセンサの研究

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/08/01

タイトル(英語): Semiconductor Thin-film Gas and Smell Sensors using a Face-to-face Type Adsorption and Desorption Layer

著者名: 笹川　大輔（東京電機大学 工学研究科），木下　亮輔（東京電機大学 工学研究科），山口　富治（東京電機大学 工学研究科），原　和裕（東京電機大学 工学研究科）

著者名(英語): Daisuke Sasagawa (Tokyo Denki University), Ryosuke Kinoshita (Tokyo Denki University), Tomiharu Yamaguchi (Tokyo Denki University), Kazuhiro Hara (Tokyo Denki University)

キーワード: 薄膜センサ，吸着・脱離層，活性炭，回転機構_x000D_　　thin-film sensor，adsorption and desorption layer，activated carbon，rotating mechanism

要約(英語): Semiconductor gas sensors have the drawback of poor gas selectivity, though they are sensitive to a wide variety of gases. A novel thin-film gas sensor with a gas adsorption and desorption part mounted on a rotation mechanism is developed to improve the gas selectivity. Activated carbon doped with noble metal catalyst is used as the adsorbent. The sensor exhibits different response to each isovaleric acid gas, ethanol gas and hydrogen gas after rotating the activated carbon to the place close to the sensing part and being heated by an implemented heater on it. Thus the sensor is able to discriminate the kind of gas by analyzing the sensitivity along with the adsorption and desorption response.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.8 （2018） 特集：バーチャルリアリティを実現するセンサ，アクチュエータとディスプレイ

本誌掲載ページ: 376-381 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/8/138_376/_article/-char/ja/