ベーパーチャンバー型マイクロ熱ダイオードへの作動流体封止技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/08/01

タイトル(英語): Working Fluid Sealing Method for Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode

著者名: 塚本　貴城（東北大学 大学院），佐藤 功一　（東北大学 大学院），田中　秀治（東北大学 大学院）

著者名(英語): Takashiro Tsukamoto (Tohoku University), Koichi Sato (Tohoku University), Shuji Tanaka (Tohoku University)

キーワード: 熱ダイオード，ベーパーチャンバー，滴状凝縮，マイクロ熱制御，PowerMEMS_x000D_　　Thermal diode，Vapor chamber，Drop-wise condensation，Micro heat management，Power MEMS

要約(英語): This paper reports a method to encapsulate degassed working fluid in a vapor chamber type micro thermal diode. Degassing and sealing processes were sequentially done in a same vacuum chamber. The pressure in the device, measured by a zero-balance method, was as low as 7000 Pa, and the pressure was kept for at least 500 hours. The thermal resistance in the reverse heat flow mode was about 30% higher than that in the forward mode.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.8 （2018） 特集：バーチャルリアリティを実現するセンサ，アクチュエータとディスプレイ

本誌掲載ページ: 392-393 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/8/138_392/_article/-char/ja/