1つの圧電ムーニー型アクチュエータを用いた2軸共振マイクロステージ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/11/01

タイトル(英語): 2-axis Resonant Microstage Using Single Piezoelectric Moonie-type Microactuator

著者名: 藤村　康浩（リコーインダストリアルソリューションズ（株）），塚本　貴城（東北大学大学院工学研究科），田中　秀治（東北大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Yasuhiro Fujimura (RICOH Industrial Solutions Inc.), Takashiro Tsukamoto (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Shuji Tanaka (Graduate School of Engineering, Tohoku University)

キーワード: スペックル，拡散板，ムーニー型アクチュエータ，PZT　　speckle dissolution device，piezoelectric device，moonie actuator，PZT

要約(英語): This paper reports a 2-axis in-plane resonator driven by a single piezoelectric actuator for a speckle dissolution device used in a laser-type projector. A PZT (lead zirconate titanate) unimorph actuator combined with a Moonie type displacement amplifier and 2-axis resonance structure was used to obtain large displacement. Both axes have different resonance frequencies (387.76 Hz and 323.34 Hz) and thus can be independently controlled by the single resonator with these frequencies superposed. The maximum displacement as high as 50 μm for both x- and y- directions was obtained. The proposed driving method can reduce the device size to about a half of the previously reported device with 2 actuators.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.11 （2018）

本誌掲載ページ: 516-522 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/11/138_516/_article/-char/ja/