結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/04/01

タイトル(英語): Study on Micro Fabrication Technology for the Patterned Se/TiO2 Photodiodes

著者名: 足立　悠輔（立命館大学 理工学部 機械工学科），小林　大造（立命館大学 理工学部 機械工学科）

著者名(英語): Yusuke Adachi (Ritsumeikan University), Taizo Kobayashi (Ritsumeikan University)

キーワード: 結晶セレン，テルル，半導体微細加工，薄膜，パターニング，結晶構造　　selenium，tellurium，micro fabrication technology，thin film，patterning，crystal structure

要約(英語): This paper reports a patterning process for photodiodes using crystalized selenium thin films which exhibit very high optical absorption coefficient with suitable spectral response at visible wavelengths. Selenium (Se) / titanium dioxide (TiO2) heterojunction photodiode can be fabricated by sequentially thin film deposition processes at relative low process temperatures (< 350℃) and can be patterned by combination of lithography and etching processes. In this study, the impacts of tellurium inserted layer between Se and TiO2 layers on their adhesion are experimentally investigated. Process damages on the patterned photodiodes are also characterized through current-voltage measurement.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.4 （2019）

本誌掲載ページ: 75-80 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/4/139_75/_article/-char/ja/