3Dリソグラフィ法により作製した微細構造を接触界面に有するトライボ発電デバイス

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/07/01

タイトル(英語): Triboelectric Nanogenerator with Microstructure Fabricated by 3D Lithography at Contact Interface

著者名: 柳田　幸祐（群馬大学），飯田　泰基（群馬大学），本間　浩章（東京大学），橋口　原（静岡大学），年吉　洋（東京大学），鈴木　孝明（群馬大学）

著者名(英語): Kosuke Yanagita (Gunma University), Taiki Iida (Gunma University), Hiroaki Honma (The University of Tokyo), Gen Hashiguchi (Shizuoka University), Hiroshi Toshiyoshi (The University of Tokyo), Takaaki Suzuki (Gunma University)

キーワード: TENG，エネルギーハーベスティング，3Dリソグラフィ，微細構造，摩擦帯電，MEMS　　TENG，energy harvesting，3D lithography，microstructure，triboelectrification，MEMS

要約(英語): We propose a triboelectric nanogenerator with pyramidal microstructure array fabricated by 3D lithography at contact interface. Since the actual contact area of the periodic pyramidal structure is relatively easy to predict, we evaluated the relationship between the size of the pyramidal microstructure at the contact interface and the power generation performance in a vertical contact-separation mode.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.7 （2021） 特集：第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 254-259 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/7/141_254/_article/-char/ja/