赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/07/01

タイトル(英語): Infrared Sensor Using Electrostatic Torsional Resonator Enabling Electrical Measurement

著者名: 畠垣　知弥（豊田工業大学），熊谷　慎也（名城大学），佐々木　実（豊田工業大学）

著者名(英語): Tomoya Hatagaki (Toyota Technological Institute), Shinya Kumagai (Meijo University), Minoru Sasaki (Toyota Technological Institute)

キーワード: 赤外線センサ，静電駆動ねじり振動子，共振周波数変化，電気測定，小型化　　infrared sensor，electrostatic torsional resonator，shift of resonant frequency，electrical measurement，compact sensor

要約(英語): The power-saving infrared sensor is attractive for detecting human and environment. A new infrared sensor is fabricated using the electrostatic torsional resonator enabling the electrical measurement. Compared to the previous experiments using the laser Doppler measurement, the possibility for the compact sensor is confirmed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.7 （2021） 特集：第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 265-266 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/7/141_265/_article/-char/ja/