温度・圧力変動環境下に対応した熱伝導式絶対湿度センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/12/01

タイトル(英語): Thermal Conductivity Absolute Humidity Sensor Adapted in Ambient Temperature and Pressure Fluctuations

著者名: 中野　洋（（株）日立製作所 研究開発グループ），松本　昌大（（株）日立製作所 研究開発グループ），小野瀬　保夫（日立Astemo（株））

著者名(英語): Hiroshi Nakano (Research & Development Group, Hitachi, Ltd.), Masahiro Matsumoto (Research & Development Group, Hitachi, Ltd.), Yasuo Onose (Hitachi Astemo, Ltd.)

キーワード: MEMS，マイクロヒータ，絶対湿度センサ，熱式　　MEMS，micro heater，absolute humidity sensor，thermal type

要約(英語): This paper describes methods of compensating environmental temperature and pressure dependence in a thermal conductivity type absolute humidity sensor using MEMS micro-heater. As a compensation method for environmental temperature dependence, we proposed a temperature compensation system that eliminates the environmental temperature dependence by a sub-heater formed around the micro-heater. In addition, as a method of compensating for the pressure dependence, a correction method by signal processing based on a model of free convective heat transfer in a horizontal plate was investigated. As a result of experimental evaluation, the effect of these compensation methods was verified.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.12 （2023）

本誌掲載ページ: 377-382 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/12/143_377/_article/-char/ja/