ナノギャップデバイスによる真空度測定の検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/12/01

タイトル(英語): Investigation of Vacuum Measurement by Nano-gap Device

著者名: 小宮　一毅（東京都立産業技術研究センター／東京都立大学），永田　晃基（東京都立産業技術研究センター），山岡　英彦（東京都立産業技術研究センター），伊達　修一（東京都立産業技術研究センター），宮下　惟人（東京都立産業技術研究センター），楊　明（東京都立大学）

著者名(英語): Kazuki Komiya (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute/Tokyo Metropolitan University), Koki Nagata (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute), Hidehiko Yamaoka (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute), Shuichi Date (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute), Yuito Miyashita (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute), Min Yan (Tokyo Metropolitan University)

キーワード: ナノギャップ，真空，電子線描画，冷陰極電界放出　　nanogap，vacuum，electron beam lithography，cold cathode field emission

要約(英語): Advances in microfabrication technology have enabled electron beam lithography (EB lithography) systems to produce microfabrication on the order of tens of nanometers. Using this technology, we have fabricated nanogap electrodes that can generate large electric fields at low voltages. The gap between the tips of the fabricated electrodes is 100 nm, and the curvature of each tip is 50 nm. The device was confirmed to work as an electronic vacuum gauge, The device successfully measured vacuum from 10-3 Pa to 1 Pa at the electrode voltage of 3 V.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.12 （2023）

本誌掲載ページ: 391-394 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/12/143_391/_article/-char/ja/