電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.146 No.10 （2026）

カテゴリ：論文誌(号単位)

グループ名：【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日：2026/10/1

タイトル(英語)：IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.146 No.10 (2026)

著者リスト：・チタン製探針を有するカンチレバー作製のための要素技術の開発：Qin　Yizhi，荻原　公平，寒川　雅之，安部　隆 ・白金担持酸化タングステン薄膜を用いた抵抗変化型水素センサデバイスの最適化：箱嶋　紗希，岡崎　慎司，笠井　尚哉 ・集積回路動作の「その場」観察向け多端子MOSFETプロービング回路の研究：伊藤　孝充，原田　知親 ・含浸電解質シートを用いたTi系基板の微細電解エッチング：峯田　貴，伊藤　航太，関　康貴，藤井　達也，鈴木　庸久

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