ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の計測

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Measurement of Permeability Distribution of Magnetic Thin Film by Meander-Type Probe

著者名: 高橋　純也（仙台高等専門学校），薮上　信（東北学院大学工学部），小澤　哲也（仙台高等専門学校），宮澤　安範（(株) 東栄科学産業），柳　邦雄（(株) 東栄科学産業），島田　寛（東北大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Junya Takahashi (Sendai National College of Technology), Shin Yabukami (Department of Electrical Engineering and Information Technology, Tohoku Gakuin University), Tetsuya Ozawa (Sendai National College of Technology), Yasunori Miyazawa (Toei Scientific Industrial co., Ltd.), Kunio Yanagi (Toei Scientific Industrial co., Ltd.), Yutaka Shimada (Graduate School of Engineering, Tohoku University)

キーワード: 透磁率，磁性薄膜，ミアンダ線路　　permeability，magnetic thin film，meander line

要約(英語): A highly sensitive and broadband method of obtaining the permeability of magnetic film without limitations in sample size was developed based on the high frequency impedance of microstrip meander probe and magnetic film. The probe (5.6 mm × 5 mm, 2 turns) was scanned in the vicinity of a CoNbZr thin film (50 × 50 mm, 0.1 μm thick), and the permeability was optimized by Newton-Raphson method in a frequency range of 10 MHz - 8 GHz. The measured values roughly corresponded to theoretical values based on the Landau-Lifshitz-Gilbert equation and eddy current generation. The proposed method shows promise for measuring the permeability of wafer-sized samples in-line because it is not restricted by size limitations.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.131 No.7 （2011） 特集：高周波マイクロ磁気応用技術の最前線

本誌掲載ページ: 511-516 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/131/7/131_7_511/_article/-char/ja/