閉磁路RF平面スパイラルインダクタの漏れ磁束を考慮した一軸磁気異方性薄膜の磁気モーメント制御

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2012/10/01

タイトル(英語): Control of Magnetic Moment in Uniaxial Anisotropy Magnetic Thin Film Taking Leakage Flux in RF Planar Spiral Inductors with Closed-Magnetic Core into Account

著者名: 曽根原　誠(信州大学工学部)，池田　賢司(太陽誘電(株) R&Dセンター)，佐藤　敏郎(信州大学工学部)

著者名(英語): Makoto Sonehara (Faculty of Engineering, Shinshu University), Kenji Ikeda (R&D Center, Taiyo Yuden Co., Ltd.), Toshiro Sato (Faculty of Engineering, Shinshu University)

キーワード: CoFeSiO/SiO2積層ナノグラニュラー磁性薄膜，異方性磁界，複素透磁率，RFインダクタ，漏れ磁束，W-CSP　　CoFeSiO/SiO2 multilayer nano-granular magnetic film，anisotropy field，complex permeability，RF inductor，leakage flux，W-CSP

要約(英語): A relation between high-frequency properties and an angle θ of anisotropy magnetic field in CoFeSiO/SiO2 multilayer nano-granular magnetic film for an RF planar spiral inductor was described in order to suppress a leakage flux. A ferromagnetic resonance (FMR) frequency fr and an FMR half-width Δfr were very little dependence on θ. The FMR frequency fr and the FMR half-width Δfr were estimated about 2.5 and 0.3 [GHz]. On the other hand, the static permeability μs was dependent on approximately sin2θ. The static permeability in hard axis μh was estimated about 250. So then, the CoFeSiO/SiO2 multilayer nano-granular magnetic film has superior high frequency character for the inductor.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.132 No.10 （2012） 特集（Ⅰ）：新機能性ナノスケール磁性材料の作製・評価 特集（Ⅱ）：イノベーションを支える最新の計測技術2012

本誌掲載ページ: 822-826 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/132/10/132_822/_article/-char/ja/