撥液性離型膜によって作製したシリコンモノライク結晶

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2015/03/01

タイトル(英語): Silicon Mono-like Crystal Manufactured by using Repellent Mold Releasing Film

著者名: 松井　光彦（電気化学会）

著者名(英語): Mitsuhiko Matsui (The Electrochemical Society of Japan)

キーワード: シリコン，モノライク結晶，撥液性膜，離型膜，一方向凝固，結晶方位　　silicon，mono-like crystal，repellent film，mold releasing film，unidirectional solidification，crystal orientation

要約(英語): To provide a method for manufacturing of a silicon mono-like crystal without using a seed crystal, a repellent film is tried to use as a mold releasing film. The molten silicon is solidified into a single direction. The orientation of the silicon crystal manufactured by using the repellent film are aligned almost in the same direction. It is found that the repellent mold releasing film is effective for manufacturing of the silicon mono-like crystal.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.135 No.3 （2015） 特集：パルス電磁エネルギーの先端技術への応用

本誌掲載ページ: 189-190 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/135/3/135_189/_article/-char/ja/