MOD法によるC面サファイア基板上VOx薄膜成長と評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2021/05/01

タイトル(英語): Characterization of the VOx Thin Films Grown on C-plane Sapphire Substrates by MOD

著者名: 和田　英男（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），小池　一歩（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），矢野　満明（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター）

著者名(英語): Hideo Wada (Osaka Institute of Technology), Kazuto Koike (Osaka Institute of Technology), Mitsuaki Yano (Osaka Institute of Technology)

キーワード: 有機金属分解 (MOD) 法，酸化バナジウム (VOx)，スマートウィンドウ，配向度，調光率　　metal-organic decomposition (MOD)，vanadium oxide (VOx)，smart window，orientation factor，dimming rate

要約(英語): Vanadium oxide (VOx) thin films were grown on c-plane sapphire substrates by metal-organic decomposition (MOD). Their crystallinity and optical characteristics were evaluated by XRD, XPS, AFM, LSM and a spectrophotometer. The crystallinity of the VOx thin films were improved in adjusting the O reduction by controlling the firing time in N2 atmosphere and a spin coating rotation speed. As a result, in the optimized VOx samples under a firing temperature of 580℃ after calcining at 300℃ with 6000 rpm coating speed, the growth of polycrystalline fine nanoparticles of a single composition was confirmed which has good thermochromic characteristics.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.141 No.5 （2021） 特集：高周波磁性材料の実用化のための技術動向と展望

本誌掲載ページ: 345-350 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/141/5/141_345/_article/-char/ja/