コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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センスアンプを用いたReRAMの書き込み抵抗の制御と多値記録への応用
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光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのCMOSポストプロセス作製
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環境にばらまくセンサネットワーク素子実現に関する一考察
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SOI基板上のメサ分離型標準バルクCMOS素子の絶縁耐圧評価
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スマートフォン計測用低電圧CMOS差動増幅回路の評価
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LSI一体型赤外線リニアセンサアレイの開発
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ステルスダイシングを利用した埋め込み式予約素子分離法
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食品由来のエタノールガスの高感度可視化計測システムを関する研究
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ツリガネムシの繊毛による層流の能動的混合
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バイオアクチュエータ融合型フローレギュレータの開発
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高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
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マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価
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金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
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水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性
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赤外線用マイクロレンズアレイ製作におけるグレースケールリソグラフィプロセスの改善
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微細周期構造による濡れ制御に関する基礎的研究
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電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ
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湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
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Al2O3-RuOxハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
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MEMS で捕獲した DNA 上の整列金属ナノ粒子の観察と評価
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ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
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液滴-ハイドロゲル界面での物質拡散を利用した微小液滴の収縮とゲル化
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高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
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水晶微小天秤(QCM)法で定量した原子状酸素フラックスによる微生物の不活化特性
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表面プラズモン共鳴センサを用いた残留農薬の簡易検知
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サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作
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電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用
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水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減
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白金黒を用いた水晶振動子型水素センサの研究
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薄膜抵抗型水素センサの開発
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道路脇設置可能な磁気式小型トラフィックカウンタの開発
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電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析
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SOI-MUMPsプロセスによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータの最適化検討
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サブ波長格子を用いたNEMS可変カラーフィルタの製作
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積層セラミック技術を応用したMEMSマイクロ発電機の開発
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触覚ディスプレイのための大変位MEMSアクチュエータ特性評価
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