コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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動作制御にハードウェアニューラルネットワークを用いたMEMSマイクロロボットの開発
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マイクロ流体デバイス集積化による校正機能付きISFET化学センサの開発
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マイクロ旋回流を利用した3次元肝組織形成プラットフォームの開発
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シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング
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生体適合性材料を用いた肺機能測定用流量センサの開発
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液体密封マイクロ流路列を用いたポリマータッチパネルセンサ
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空中用の静電容量型マイクロ超音波センサの電気機械的特性
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ウェアラブル実装に対応した円筒状繊維熱式加速度センサの提案
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Development of a biomimetic Tactile Sensor for High Sensitivity
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接触型画像センサを用いた点字認識法の提案
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MEMS-CCRを利用したリモート環境センシング
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低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動
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3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
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多点型電極を用いたカーボンナノチューブの誘電泳動
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集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
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近赤外分光用ラミナー型グレーティングの試作と電磁力による可動化
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ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
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プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
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光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
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界面準位の影響を考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
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高アスペクトトレンチへの選択的自己組織化微粒子配列
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SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
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超臨界流体を用いたSiO2成膜における酸化剤効果
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Si基板上高品質AlNテンプレートの開発
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光電気化学エッチングにより作製した静電駆動単結晶SiCブリッジ構造
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MEMS応用に向けた超臨界流体を用いた金属薄膜形成技術の開発
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静電くし駆動2次元ディスプレイミラーの真空中駆動
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合成石英のフェムト秒レーザーアシスト・ドライエッチング=ナノ周期構造の選択的エッチング=
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MIMドットを用いた可変キャパシタ
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LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
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真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
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シンクロトロン放射光の整形ビームによるPMMAの三次元加工法の提案
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超臨界流体を用いたSiO2製膜の開発
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MEMSデバイスにおける液体封入プロセスの開発
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微細加工したフッ素樹脂を用いたリン脂質のマイクロパターニングとリポソーム作製
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MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt,Ruナノワイヤの成長速度計測
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