コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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スマートフォン型PM2.5モバイル計測器の開発と評価
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熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化
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異なる市販ゾルを用いたゾル・ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価
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真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー
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マルチフィジクス・シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討
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高温フォトニクスによるふく射熱輸送の高効率化
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表面波と結合した回折格子中共鳴モードによる熱輻射制御 ~理論的解析と製作法検討~
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アルミナノワイヤを用いた透過型表面プラズモンカラーフィルタの製作
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金回折格子によるSPRを用いた近赤外光Siディテクタアレイ
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静電駆動カンチレバーによるMEMSスプリットリング共 振子アレイのテラヘルツ可変フィルタ応用
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可変MEMSメタマテリアルによる右手/左手系複合伝送線路トランスミッションライン
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サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計
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強磁性金属カイラルメタ分子の作製とマイクロ波応答
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擬似電磁誘起透明化が生じる光メタマテリアルの製作と位相差解析
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近赤外域にFano共鳴をもつ光メタマテリアルの作製とQ値解析
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検出器構造を有する低損失表面プラズモン導波路
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ナノスリットを有するショットキー型表面プラズモン検出器の感度向上
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熱バイモルフを利用したアクティブナノスリット光学位相変調器
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可視域におけるマイクロ軸対称偏光子アレイのための金ナノスリット光学位相子
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高い波長選択性を持つMEMS Fabry-Perot干渉計を用いた表面応力センサ
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共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性最適化
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素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発
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集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討
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DRIE技術によるチタン製微小手術針の開発
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集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工
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熱位相遅れを用いた薄膜物質の厚さの非破壊計測
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MEMS技術を用いた音波の熱的な検知に関する研究
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電気触覚ディスプレイ用微小針電極アレイ
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BiFeO3強誘電体薄膜を用いた圧電型振動発電デバイスの作製とその評価
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極微小静電くし駆動アクチュエータを用いたシリコンフォトニック導波路スイッチの応答時間
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アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討
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可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御
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近赤外域における擬似電磁誘起透明化メタマテリアルの製作
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有機薄膜トランジスタ(TFT)を利用したMEMS加速度センサ
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超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化
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ラジカルセンサの提案と回路実装に関する検討
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