コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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集束超音波を用いた微小液滴吐出デバイスの試作評価
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反射型マイクロ原子時計セル
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High Gauge Factor AlN/FET Based Strain Sensor
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並列設置型積層圧電素子を用いた振動発電による無線加速度センサ駆動
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エアロゾルデポジション法でステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜の振動発電特性
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逆リフトオフ法のマイクロ加工特性
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電子装置の安全性を支える腐食センサシステム
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3次元双腕光ピンセットシステムによる微粒子の全自動マイクロ操作
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特殊加工用大ストローク5自由度制御型磁気浮上アクチュエータ
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下水道管渠ガスセンサ適用アンモニア選択透過膜
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音速測定により高速応答を実現した水素センサの開発
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点滴中の流量測定を目的としたマイクロレーザドップラ速度計による管内流速測定
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乳幼児の呼吸心拍一括計測を目指した気管挿管チューブ実装型MEMS流量センサシステムに関する研究
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極薄Au薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討
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心臓鼓動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス
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感応膜ドリフト抑制に向けたトストライプゲート型半導体pHセンサの開発
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微粒子計測センサ向け流路集積型ナノポアデバイス
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オンチップでの腎臓オルガノイドへの血管誘導条件の検討
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MEMS液中セルと電子顕微鏡を用いた液試料のマイクロスケール動態観察
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ナノ凹凸表面を利用した新規細胞パターニング方法の確立
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レーザカット積層モールドを用いた規格化PDMSマイクロチップ作製法の開発
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マルチ神経伝達物質イメージセンサのクロストークを抑制するMEMS構造体の作製
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Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性
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自立グラフェンを利用した光干渉型表面応力バイオセンサ
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3次元誘電泳動デバイスを用いた血中循環型腫瘍細胞の分離検証 ―流路内速度分布の数値解析による最適分離条件の特定―
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紐状パリレン神経電極デバイス(PASTA)
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長鎖アミノシランを用いて酵素を固定化した拡張ゲート電界効果トランジスターのグルコース検出特性
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表面プラズモン共鳴を利用した光導波型血糖値センサの理論解析
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凝集誘起発光物質を修飾した逆オパール型フォトニック結晶によるアンモニアの検出
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1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価
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銅(I)イソシアニド錯体のサーモクロミズム
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プラズマ重合アリルアミン膜被覆水晶振動子によるフタルアルデヒド濃度測定
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塗布熱分解法で成膜したWO3のNOガス検出特性
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結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのための微細加工技術の開発
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磁性積層膜における磁気光学キャビティ効果を利用した水素ガスセンサの開発
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