コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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ミリ波帯フェーズドアレイアンテナを用いた発展型マルチスタティックレーダの検討
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VUV光とArプラズマのシーケンシャル表面処理による金薄膜を用いたウェハ常温接合
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ウェハレベルMEMS気密パッケージングのためのレーザーアシストボンディング(LAB)によるSi/ガラス接合技術
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電流駆動型グラフェン共振センサによる質量・粒子数マルチモーダル測定
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エラストマーナノシートを用いた二軸ひずみ印加グラフェン共振質量センサの作製と分子質量計測
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ダイヤモンド電極を用いた残留塩素濃度モニター
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表面増強ラマン散乱(SERS)基板の作製と評価
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水素ガス環境用温度センサ付き小型圧力センサ
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誘電分散解析によるマイクロ波帯リポソーム‐バイオ分子間相互作用の評価
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神経細胞の単離培養・形態制御・三次元操作を行うためのマイクロプレート
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自己組織化有機単分子膜/AgCl』混合表面の構築と電気化学特性
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表面弾性波を利用した集積型点集束噴霧器
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ナノギャップ電極間インピーダンス測定によるウィルスセンシング
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土壌肥料濃度モニタリング用小型ECセンサアレイシステムの開発
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フィルタレス蛍光センサの検出精度と検出限界の向上
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累積技術による128×128画素高感度電荷転送型pHイメージセンサの実現
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ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして高周波スパッタリングにより成膜した有機薄膜の揮発性有機化合物の吸着特性
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機能性LSPRナノ粒子を用いたクラスタセンシングフィルムの開発
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誘電泳動集積したカーボンナノチューブの白金修飾とガスセンサへの応用
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白金薄膜抵抗を用いたブリッジ回路型水素センサの開発
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水晶振動子式モノリシックメタノール濃度センサに関する理論解析
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植物生体電位および空気中のイオン電荷量の相関
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シリカ凝集体の静電噴霧によるエレクトレットフィルムの耐熱性改善
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宇宙応用のための昇温脱離式QCMセンサの開発
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MEMSせん断力センサを用いたスティック型粘度計
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MEMS共振器周波数可変機能の電気測定評価
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軟磁性体を用いた片持ち梁型小型電流センサ感度に及ぼす磁気異方性の影響
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フレキシブルポリイミド基板上に作製した流路型グルコースバイオ燃料電池の試作と評価
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シアノバクテリアの空間制約による肥大・分裂の抑制
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免疫凝集とDEPIMを用いた選択的細菌検出法の基礎検討
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金属析出を用いた増感クーロメトリーによる好中球から放出される活性酸素の検出
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バクテリアセルロースを利用した微生物ロボットの開発
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多機能性Ir/SiO2マイクロチューブ神経電極の光学特性の評価
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LSIチップ単体への無線による電力供給
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