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静電誘導を用いた非接触湿潤センサの提案
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シリコンのPECエッチングによる高アスペクト比ナノスケール微細孔の作製
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極低濃度KOH水溶液を用いたシリコン異方性ウエットエッチング特性とこれを利用したSiO2薄膜自立構造体の製作
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化学計測研究への適用を目指した可搬型IoTネットワーク データシステムの開発
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フラクタル次元分布を用いた回転機の振動解析
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2次元集積化磁気センサにおけるCDSによる固定パターンノイズ低減に関する検討
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イオン液体を用いた水晶振動子ガスセンサの応答
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10臓器共培養用Body-on-a-Chipプラットフォームの作製と評価
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共振維持回路による高効率MEMS振動エナジーハーベスタ
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両持ちバイモルフ梁を集積化した面外駆動Au/SiO2グレーティングの製作
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匂いと気流の空間分布提示装置―大型電子広告対応に向けた初期検討
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1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討
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Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm Structures
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匂いバイオセンサ応答画像を用いた匂いの種類および濃度の識別の基礎的検討
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粘弾性液体と接した電極分離型QCMセンサの周波数応答特性
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薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法
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吸引吐出開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
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周期的容量変化構造を持つエレクトレット振動発電素子の非線形解析
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微小孔アレイを用いたミクロンサイズ細胞外ベシクルの生成分離
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慣性センサの超低消費電力化に向けたCMOS混載SiGe-MEMS技術の開発
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圧電薄膜共振子を利用した3.5 GHz帯CMOS発振回路の開発 と原子時計システムへの適用
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減圧水蒸気プラズマによる酸化銅の還元
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自己スパッタ接合法を用いた常温による酸化物系材料とSiの直接接合
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インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ
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レーザー消去された0.13 μm CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへのTSV加工
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ペプチド探索マイクロ流路デバイスにおける非特異結合ペプチド除去性能の向上
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余剰受容体の直接定量解析に向けた単一細胞薬剤刺激デバイスの開発
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液滴の接触融合技術における電気的・磁気的制御
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ナノハニカム構造を利用した LSPR と QCM-D の ハイブリッドセンサの開発
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水晶振動子上に作製した周期的ナノ構造による抗菌特性の定量化
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ストレッチャブル電極を印刷形成したテキスタイル型電極システムによる表面筋電測定
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う蝕定量評価を実現するマイクロpHセンサ
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フォトパターニングAu/Agコアシェル構造を持つピクセル化マルチガスセンサによる匂い撮像素子
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Active oxygen measurement in nonwoven fabric by using pullulan thin film employed methylene blue dye and electron spin resonance (ESR)
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金属接続とレドックスサイクリングによる金属置換型クーロメトリーの高感度化
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