コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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土壌過渡応答特性を利用した土中水分量・イオン濃度計測用フィードバック型回路回路システムの開発
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Electromagnetically Actuated Quartz Glass Ring Resonator for Mode Matched Gyroscope
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単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討
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1 MHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発
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スイッチ磁界に対する磁性ナノ粒子の応答性を利用した細菌検出
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海洋現場におけるATP(アデノシン3リン酸)定量測定に向けた3Dプリンタ製マイクロ流体デバイスの設計・評価
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磁気センシングを利用したタービンブレード部材の非破壊評価
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勾配磁界を用いた3次元位置計測のためのマイクロMIセンサシステムの開発
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磁気光学センサへの応用に向けた磁性グラニュラ薄膜の作製
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Au粒子/Bi:YIG複合膜におけるファラデー効果増大についてのFDTDシミュレーション
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核スピン偏極度検出のための低弾性率共振子
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強磁性/強誘電ヘテロ界面接合によって誘起される磁気特性
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信号処理を用いた光ポンピング磁気センサのノイズ低減効果
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3D, 2D マイクロ/ナノデバイスの脳計測応用
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光ポンピング磁気センサを用いた微小磁場のベクトル計測
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NVCを有するナノダイヤモンドを用いた磁場イメージング
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貫通裏面電極をもつ形状記憶合金厚膜アクチュエータ型触覚ディスプレイの形成
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高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成
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触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価
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力・光・温度複合触覚センサを用いた濡れによる質感変化の評価
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押し付け型電子部品実装における弾性体回路基板のヤング率と接触抵抗の関係の評価
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布地評価用2次元掃引型摩擦感テスタの開発
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複雑形状物体把持制御のための複数接触部を有する触覚センサ
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3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討
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エレクトレット電位増強による非定常振動発電特性の向上
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メタマテリアル構造を用いた振動発電デバイスにおける圧電層膜厚の最適化
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ナノチャネルを用いた熱電変換デバイス
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パッシブワイヤレスSAW温度センサシステム
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液滴生成および急冷が可能なマイクロ流路デバイスを用いたナノ粒子生成システムの試作
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水分量・イオン濃度センサ用フィードバック型インピーダンス計測回路チップの製作
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レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価
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金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたMEMSカンチレバーのたわみ調整法
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濡れ性可変ダイアフラム上へのPDMSマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成
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ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工
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波長可変MEMS-VCSELにおけるMEMS凹面鏡の数学的評価
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