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MEMSの昨日，今日，明日
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ウェアラブル血圧センシングのための装着者の行動識別
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絆創膏型生体センサとそのアプリケーション
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生体バランス物質のさりげないセンシング
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シート型高感度振動センサを用いた無拘束生体センサ
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ミニマル装置を用いたオールインワンプロセスでのPZT薄膜形成
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PZT系単結晶薄膜を用いた圧電ＭＥＭＳのためのエピタキシャルバッファ層のウエハレベルスパッタ成膜
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InSb及びInAsSb薄膜のGaAs（001）上へのMBE成長と格子ミスマッチの低減効果
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生体組織のオンチップ培養に向けたSpheroid内血管 の外部 流路 との接続
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３次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
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VOx抵抗体によるマイクロ温度センサを用いたバイオセンサ
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Si/polymer/glassチップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発
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マイクロ流路を一体化したMEMS光干渉型表面応力センサによる 生体分子計測
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MEMS水素ガスセンサのための白金触媒めっき技術の開発
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２次元集積化磁気センサにおけるオフセット除去後のノイズ発生原因に関する検討
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SmCo薄膜磁石を一括形成したTMR型磁界センサからの漏洩磁界の低減
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ガスセンサを用いたテーブルにおける生活活動の認識に関する検討
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MEMS技術を用いた超小型師管流センサ(2)
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デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発
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PZT薄膜の圧電特性d33,fの面内分布を指標とした圧電MEMSプロセスモニター
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ゲル化イオン液体によるエナジーハーベスタ応用
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Bio-nano-templateと中性粒子ビームエッチングを用いたInGaAs/GaAs 量子ナノディスクLEDの設計と試作
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植物細胞向けμEPチップにおける印加電圧の最適化
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マルチモータ解析のためのマイクロチャネルを用いた異種モータタンパク質の選択的固定
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光駆動微小構造体を用いた巨大DNA分子液中配線技術の提案
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気液界面に対するタンパク質の付着力の測定
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外部磁場で制御可能な回転式マイクロアクチュエータの作製とマイクロ液滴搬送への応用
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チップストリーミングを用いた単一細胞解析に向けた分離可能な液滴の生成
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光リソグラフィーによる酵素パタニングセンサの開発
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光
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界面動電効果を利用したクレッチマン型SPRセンシング法の提案
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マイクロ流路を用いた１分子DNAの凝縮転移のリアルタイム解析
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MEMS技術を用いた超小型師管流センサ
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熱流体環境計測機能を有するガス源探知ロボットの開発－室内気流場の推定－
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親水性保護膜を用いた半導体型ECセンサによる土壌安定測定の実現
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