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チップストリーミングを用いた単一細胞解析に向けた分離可能な液滴の生成
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光リソグラフィーによる酵素パタニングセンサの開発
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光
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界面動電効果を利用したクレッチマン型SPRセンシング法の提案
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マイクロ流路を用いた１分子DNAの凝縮転移のリアルタイム解析
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MEMS技術を用いた超小型師管流センサ
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熱流体環境計測機能を有するガス源探知ロボットの開発－室内気流場の推定－
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親水性保護膜を用いた半導体型ECセンサによる土壌安定測定の実現
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2次元非対称シリコンマイクロミラーの高伝達効率化
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強誘電エレクトレットを用いた空中超音波センサの製作と特性評価
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光・ひずみ複合センサによるマルチモーダルな質感計測の基礎検討
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小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討
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シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の有限要素法解析―導波路位置依存性及びダイヤフラム厚依存性―
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エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価
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形状記憶合金厚膜アクチュエータを用いた触覚ディスプレイの開発
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回転機の故障予兆検知用振動センサモジュールの開発
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微小部品統合のためのロール型転写装置における転写位置ずれの要因の解明
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ナノエマルション生成を目的とした超音波振動デバイスにおける印加電圧と液滴径の関係
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微細加工を施した層状物質CuFeTe2の酸素インターカレーションを用いた酸素センサ
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真空紫外光によるシリコーンのガラス化を利用したガラス製モスアイ構造の作製法
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結晶異方性プラズマエッチング法によるSP共鳴波長変調アクチュエータの作製
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フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極形成
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原子共鳴を利用した磁気勾配センサの提案
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可動 MEMS スパイラル構造による偏光変調デバイス
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厚膜スプレーコート法のモデル化による高精度膜厚制御
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カーボン分散ポリジメチルシロキサンを用いたin-situ分光分析プラットフォーム
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分布した面内方向磁場の付与による磁区転移の制御
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マイクロ光学式マルチガスセンサの実現を目指したシリコン上の光学セルフアライメント技術
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筋収縮特性評価のための筋培養組織構築に関する研究
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水中生体分子の高分解能アクティブ観察に向けた，グラフェン隔壁を持つTEM用MEMSリキッドセル
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光ファイバを用いた三次元空間における蛍光観察
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経皮連続血糖値計測に向けたグルコース応答性ゲルの膨潤制御構造
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蛍光分子封入リポソームアレイセンサを用いたターゲットタンパク質の検出
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静電駆動ナノグレーティングによる光位相変調素子
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