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マイクロ変位センサの接触圧センサへの応用
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半導体検査用片持ち梁型シリコンコンタクタの三次元配線技術
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環境負荷を考慮した不活性ガスによるメタルドライエッチング法とその応用
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微小管の運動方向制御のための曲げ剛性設計
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有機／無機ハイブリッド構造を有する自己伸張型マイクロモータ
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高密度CMOSチップ上垂直三次元電極の集積とその細胞外記録への応用
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シリコンウィスカ神経電極デバイスの柔軟基板への実装とシルクを用いた刺入評価
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酵素の直接パターニングを用いた皮下乳酸計測用酵素電極センサの開発
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血中サイトカイン定量による迅速診断に向けたオンチップELISA
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微量骨格筋組織中mRNA回収可能マイクロ流体チップの開発
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金ナノ粒子二量体配列における表面増強ラマン分光１分子検出特性
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側壁電極ナノリソグラフィによるナノパターンの一括転写
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酸化防止層にSnを用いた低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合の研究
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時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討
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貼り替え不要で２軸方向検出可能な８角形MOSFET型応力センサ
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植物生体電位による植物育成光源の自動制御
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無機半導体を用いた二次元アレイ電気化学センサデバイスの研究
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半導体化学イメージセンサを利用したアノード近傍のその場測定
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半導体メモリのように化学物質を展開・格納可能なオンデマンド化学ライブラリーチップ
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流量補正したトーナメント型連続電気滴定マイクロ化学チップ
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Photoacoustic Microsensor for Glucose Monitoring in Human Blood
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ＵＨＦ帯を用いた小型・軽量の複数回転物体への同時無線給電手法
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ベンチレーション構造によるMEMSマイクロホンの機械強度向上
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シリコンレゾナント圧力センサの高耐圧化
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ウェアラブル端末向けパッケージング技術とMEMS圧力センサへの応用
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光電脈波センサを用いたバイタルデータの抽出と解析
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マイクロスケールシリコンの結晶方位に依存した疲労破壊と応力解析
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弾性表面波共振子を利用した超小型角速度センサ
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Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討
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金ナノ粒子二量体配列を用いた表面増強ラマン分光におけるラマン増強度評価法
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高速な点滅光照射に対する植物生体電位応答の解析
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質量分析器データと非負値行列因子分解法を用いた車室内臭の再現の基礎検討
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空隙を有する多層薄膜半導体水素ガスセンサ
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ストライプ構造マイクロ流体白色有機ELの作製
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電流励起有機半導体レーザー光源に向けた高電流密度・高発光効率同時実現のためのNano-OLEDsの作製
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ナノインプリントリソグラフィを用いたポリマー製二次元フォトニック結晶の作製と化学センサへの応用
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