コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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シリコンのPECエッチングによる高アスペクト比ナノスケール微細孔の作製
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極低濃度KOH水溶液を用いたシリコン異方性ウエットエッチング特性とこれを利用したSiO2薄膜自立構造体の製作
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化学計測研究への適用を目指した可搬型IoTネットワーク データシステムの開発
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フラクタル次元分布を用いた回転機の振動解析
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イオン液体を用いた水晶振動子ガスセンサの応答
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2次元集積化磁気センサにおけるCDSによる固定パターンノイズ低減に関する検討
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10臓器共培養用Body-on-a-Chipプラットフォームの作製と評価
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共振維持回路による高効率MEMS振動エナジーハーベスタ
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両持ちバイモルフ梁を集積化した面外駆動Au/SiO2グレーティングの製作
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匂いと気流の空間分布提示装置―大型電子広告対応に向けた初期検討
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1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討
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匂いバイオセンサ応答画像を用いた匂いの種類および濃度の識別の基礎的検討
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Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm Structures
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粘弾性液体と接した電極分離型QCMセンサの周波数応答特性
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薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法
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周期的容量変化構造を持つエレクトレット振動発電素子の非線形解析
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吸引吐出開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
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微小孔アレイを用いたミクロンサイズ細胞外ベシクルの生成分離
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慣性センサの超低消費電力化に向けたCMOS混載SiGe-MEMS技術の開発
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圧電薄膜共振子を利用した3.5 GHz帯CMOS発振回路の開発 と原子時計システムへの適用
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減圧水蒸気プラズマによる酸化銅の還元
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自己スパッタ接合法を用いた常温による酸化物系材料とSiの直接接合
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インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ
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自動・遠隔インフラモニタリングのための印刷歪センサ及びセンシングシステム
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スクリーンオフセット印刷を用いた極薄MEMSのフィルム実装
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カーシート埋め込み型MEMSセンサの検討
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貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成
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吐出吸引開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
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マイクロピラーを用いた粗微動切替可能な水圧バルーンアクチュエータの開発
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化学的原理による人工微生物の集団運動制御
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味覚センサを用いたコーヒーの味の数値化
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ポリマー製フォトニック結晶ナノ共振器の設計・作製と高感度光センサへの応用
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ISFETsのpH感度に影響するタンタルオキサイドゲート表面の化学的機能化
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液体封止型診断カートリッジにおける試薬液封止構造の開発
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SPR の電気的計測法による物質識別
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化学センシングのためのマルチモード導波路干渉計
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