コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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櫛歯振動子用カリウムイオン含有酸化物エレクトレット
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PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究
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PZT誘電ボロメータ型温度センサ
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新しいセンサを目指したペロブスカイト関連構造を持つ酸化物薄膜の作製
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植物の電位測定及び測定システムの確立
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高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
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可視光通信用CMOSフォトICの試作と評価
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量子井戸型InAsホール素子を用いたプログラマブル・リニアホールICとそれを応用した電流センサ
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多層集積化MEMSのためのハイブリッドウエハに関する研究
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宇宙用MEMSジャイロセンサ用ICの開発
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新幹線変電所への電力補償装置新設に伴うノイズ対策
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モノリシック3軸MEMSジャイロ
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MEMSガスジャイロ用ホットワイヤと流路形状に関する研究
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新幹線用走行風冷却主変換装置の開発と実用化
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高解像度カメラによる通過パンタグラフ画像取得に関する基礎試験
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イメージセンサと生体センサの自動車応用
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ATC軌道回路における土木構造物中の鉄筋も考慮した接地導体の誘導妨害電圧低減効果
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直流電気鉄道向けき電シミュレータにおけるモード割り当て法によるき電回路計算の改善
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乗務員運用が列車ダイヤの頑健性に与える影響の研究
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ATCシステムのためのディジタルノッチフィルタを用いた帰線電流ノイズ低減
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雷電流出現頻度に基づいた電車線路における架空地線の効果の評価
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振動型3軸MEMSジャイロの試作と初期評価
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MEMSガスジャイロとその周辺回路に関する検討
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MEMS熱伝導型センサとその応用
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高感度薄膜磁気センサ技術と応用
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新しいセンシングデバイスを目指した高品質酸化物超伝導薄膜の作製
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半導体微細加工技術を用いた電磁環境両立性(EMC)測定用センサ
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MEMSジャイロセンサの極性反転によるドリフト抑制の検討
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義歯埋め込みチップによる口腔内モニタリング
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ICカード出改札システムにおけるIT技術
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2000画素の小形熱画像センサとその応用
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液体封入式電気抵抗型傾斜センサの試作と特性評価
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振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状の設計と試作
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DMD露光機における多重露光を利用した静電容量型加速度センサの試作
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マルチモード干渉を利用したSi光導波路の平面交差とその慣性センサヘの応用
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リングレーザジャイロを指向したSi(111)面可動ミラーの試作
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