コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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高感度薄膜ホール素子の特性と実用化
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組込み技術教育用教材におけるセンサの活用
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Technology and Applications of LSI-Integrated Microsensors
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常温封止接合プロセスと封止性能評価用センサーの開発
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多重反射の光学センサー
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希土類元素を添加したペロブスカイト型酸化物の発光特性
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その場電子顕微鏡法によるフラーレンナノウィスカーの構造と物性の研究
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多孔質金属薄膜の形成法とこれを用いた赤外線吸収膜
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Synchronized mechanical elements for resonance sensing application
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移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
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構造的応力制御によるSiO2ダイアフラム上圧電型超音波マイクロセンサの感度変化
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DMD露光機を用いた感光樹脂製圧力センサの試作と評価
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イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
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NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化
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シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
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大気アニールしたNi触媒によるCNT成長制御
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可視光ID用受光システムの試作
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超小型熱分析用センサの検討
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カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
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電解液を用いた静電容量型水平センサの作製
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ネットワーク信号制御システムにおけるセンサ技術の活用
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エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型超音波トランスデューサアレイの製作
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薄膜ピラニ真空センサの温度差検出による改良
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量子井戸型InAsホール素子を用いた高感度リニアホールICとそれを応用した電流センサ
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鉄道分野における音響センサの可能性
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踏切警報定時間制御に適用する誘導線を用いた連続的な列車位置検知方式の研究
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ラインリセプティビティ推定を用いた高速回生車車載エネルギー蓄積素子の充放電制御
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PWM変電所の導入とそのリアルタイム制御による直流饋電システムの設備利用率改善
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PZT圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究
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振動型3軸MEMSジャイロの設計と試作
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センサネットワークの鉄道信号技術への適用可能性と課題
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サーフェイスマイクロマシニングを用いた無線通信デバイスの開発
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FPD用CNTフィールドエミッション源の開発
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トンネル型磁気抵抗素子を用いた地磁気センサ
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ドライエッチングを用いた水晶の三次元的微細加工とセンサへの応用
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カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
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