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36チャンネルフラックスゲートセンサを用いた心磁界計測
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透明性を有するせん断応力・接触圧力分布測定システムの開発
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水晶振動子を用いた小型熱重量分析用センサシステムの開発
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3Dマイクロスプリングを用いた静電駆動可変プラズモニック素子
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狭帯域光導波型AEセンサの応答特性に関する考察
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静電櫛型走査マイクロミラーにおける補助櫛を用いた非線形補償
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超音波振動を用いた液滴操作デバイスにおける液滴操作条件の検討
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広帯域のアコースティックエミッションセンサ
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金属電極がCYTOPの表面電位に及ぼす影響
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マイクロスケール超音速風洞の空気力学的実験に関する研究
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ウェーブロータを用いたMEMSガスタービンエンジントッピングサイクル
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ＳｉＣエミッタを用いた低温動作するマイクロ熱電子発電機のマイクロギャップの熱損失に関しての界面熱抵抗の影響
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FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価
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衝撃により硬くなるパッケージを用いた高感度と耐衝撃性を両立した触覚センサ
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多量のカーボンナノチューブを含有する銅ナノコンポジットの電気めっき
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マイクロ流体操作のためのスパッタ酸化チタンを用いた光応答型濡れ性制御
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VLS成長シリコンナノワイヤの歪み誘起電気伝導特性の結晶方位依存性
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高濃度不純物ドープシリコンの高温引張試験
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水晶振動子を用いた熱重量センサの高性能化
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小型チェンバーを用いるミニマル装置での高速切換ボッシュプロセス
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ストレス評価のための好中球殺菌活性測定デバイス
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異分野融合研究と価値創造型工学へ
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微小孔アレイを通じた細胞組織の薬剤刺激と微小電極アレイによる多点電位計測
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伝統とは革新の連続 ?変わらないために変わり続ける
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イオン性液体ゲルと布状電極を用いたＥＣＧ
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AlN圧電デバイスのウエハレベルパッケージング技術の開発
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マイクロ変位センサの接触圧センサへの応用
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半導体検査用片持ち梁型シリコンコンタクタの三次元配線技術
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環境負荷を考慮した不活性ガスによるメタルドライエッチング法とその応用
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微小管の運動方向制御のための曲げ剛性設計
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有機／無機ハイブリッド構造を有する自己伸張型マイクロモータ
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高密度CMOSチップ上垂直三次元電極の集積とその細胞外記録への応用
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シリコンウィスカ神経電極デバイスの柔軟基板への実装とシルクを用いた刺入評価
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酵素の直接パターニングを用いた皮下乳酸計測用酵素電極センサの開発
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血中サイトカイン定量による迅速診断に向けたオンチップELISA
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微量骨格筋組織中mRNA回収可能マイクロ流体チップの開発
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