コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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銅(I)イソシアニド錯体を含有するPMMA薄膜の光学特性
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高温ひずみセンサ用Cr-Al-N薄膜
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疑似Auナノ粒子プラズモン光学フィルタを用いた高感度磁区観察
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シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性
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反応性スパッタリング法によるCTRサーミスタ用VO2薄膜の作製と評価
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スクイーズ膜圧力分布計測用センサアレイの開発
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液体を薄膜で封止したカンチレバー構造のエナジーハーベスタの研究
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グルコースをエネルギー源とする空気バイオ電池の高出力化
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人の皮膚機能を模倣した電子皮膚とソフトロボットの融合
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確率共鳴現象におけるオーバーサンプリングを用いた検出感度の向上
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地中に埋設したエレクトレットセンサを用いた根圏AEの検出
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ギャップ変化に基づくプラズモン共鳴シフトを用いた感圧膜の開発
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金属?誘電体?金属サブ波長格子を利用した可変プラズモニックフィルタの動作検証
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Auナノフィンを応用した面内駆動型光位相差変調素子の開発
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10MHz以下のバンドギャップを持つフォノニック結晶の作製と評価
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Alサブ波長格子を形成したプラズモニックナノシートの製作
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静電面外駆動型金ナノグレーティングに関する研究
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MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写
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2段電極一体化構造のイオン液体エレクトロスプレースラスタの試作
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ELETROCHEMICAL DEPOSITED TBXDY(1-X)FEY THIN FILM EVALUATED FROM MICROACTUATOR
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デバイス応用を鑑みた真空アーク蒸着法によるNd-Fe-B系厚膜磁石の開発
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良好な絶縁性を有するc軸配向PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成
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熱式MEMS流量計の感度に関するシミュレーション解析
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銅張積層板を用いた流路構造一体型MEMS流量センサの開発
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TiNマイクロヒータを用いた中空ヒータ構造の検討
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神経インターフェース用多機能マイクロチューブモジュールデバイスの製作と実装技術
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貼付式漏血検出センサとその作製手法の開発
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分離機能の向上を目指した四角錐先端分離型マイクロニードルの開発
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ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発
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土壌過渡応答特性を利用した土中水分量・イオン濃度計測システムの開発
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誘電泳動プローブアレイの開発と超並列単一細胞操作への展開
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腎臓オルガノイドー血管床結合のための培地条件検討
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低侵襲な慢性ニューロン計測のためのフローティング電極デバイス
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ドーナツ型Kirigami構造を有した伸縮性筋電計測電極の開発と特性評価
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二重細胞層近位尿細管チップにおける灌流流れを用いた上皮細胞層の成熟化の向上
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