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1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計
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CMUT PACKAGING FOR FORWARD LOOKING ULTRASONIC ENDOSCOPE USING LTCC SIDE VIA
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MEMSデバイスに向けたCuSn薄膜によるウエハレベル真空封止接合
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金属薄膜を用いた異種材料同時エッチングによる極微細ガラス構造の作製手法
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MEMSデバイスを用いた磁気特性評価に関する研究
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電子顕微鏡その場観察用引張試験デバイスの開発
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微細構造を有するナノファイバ材料薄膜の製作
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バイオセンサ開発のための分子間相互作用解析および構造解析系の構築
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マイクロレンズアレイを用いた双腕光ピンセットシステムの試作
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オプティカル酸素計測に基づく簡易なBOD，生態毒性センサの開発
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匂いと気流の空間分布提示装置―タブレットコンピュータへの応用と気流分布形状の改良―
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原子磁気センサのセル作製のためのアルカリ金属ソースタブレット
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磁気共鳴イメージングためのNVセンターを有するダイヤモンドプローブ
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3Dプリンタを利用した流路デバイス作製の検討と応用
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Spatial Density Estimation of Smoke based on Light Field Consistency
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酸化バナジウムを用いた共振型マイクロ熱量センサ
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非対称ゲル化によるハイドロゲルマイクロスプリングの構築とアクチュエータへの応用
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長期連続測定できる牛ルーメン用pHセンサの開発
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水熱合成PZT膜を用いた凹面型小型超音波トランスデューサの作製と評価
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NiW合金を用いたマイクロ熱電子発電素子
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微細周期構造の付与によるバイオセンサに用いる遠心流体弁の高性能化
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誘電泳動速度計測による熱処理酵母の代謝評価 ― 低温における加熱時間の影響 ―
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カーボンナノチューブ表面への生体分子高配向固定化技術の開発とバイオエレクトロニクスへの応用
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二酸化チタン微粒子を含んだ吸湿性高分子膜によるヘテロコア光ファイバ湿度センサの紫外光を用いた湿度特性
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多点屈折率計測のためのヘテロコア構造Fabry-Perotセンサの性能評価
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SnO2ナノパーティクルとRu触媒格子を用いたアンモニアガスセンサの開発
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Ag触媒を添加したWO3系薄膜を用いたNOガスセンサの研究
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表面プラズモン共鳴免疫センサを用いたトウガラシ果実中のカプサイシノイド検出
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水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化
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極薄シリコンとガラスの陽極接合における接合部のグロー放電分光分析
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ソフトアクチュエータ用圧電高分子センサの作製と評価
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積層圧電素子の振動発電による加速度センサの駆動
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フレキシブルデバイス応用に向けた取り外し可能なシート間の電気接触の提案
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リフトオフ形成Pt電極上へのPZT薄膜作製
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(Zn,Mg)Cr2O4-TiO2系2層P型半導体セラミックスによる直熱型ガスセンサ
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エレクトロスピニングにより作製したナノファイバーのタンパク質吸着特性の解析
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