コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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陽極化成とp++エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
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金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
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シリコンインターポーザ基板を用いたMEMSセンサシステムの開発
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圧電素子を用いた超高感度共振型センサの測定感度を決定する設計条件について
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中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ
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自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ
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シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
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交流電極に誘起されるマイクロ浮力流れ
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弾性樹脂-磁性粒子複合材料を利用した可動アレイ柱状構造体の開発
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多機能フィルターを用いた垂直流体操作の挙動予測と検証
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MEMS血流センサを用いたWavelet変換による指尖部血流量変動の解析
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誘電泳動と拡散現象を利用したナノ粒子解析法
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帽子状金ナノ粒子の光学特性を利用した生体分子間相互作用解析
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面発行レーザチップの低温直接接合
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光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
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MEMS構造を利用した光集積型センサ
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位相クロス法を利用した白色干渉計測
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エンコーダ校正でのナノ計測
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顕微スペックル干渉法によるMEMSの動的変形計測
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エバネッセント波蛍光励起型 レクチンマイクロアレイシステム (SC-Profiler)
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ナノピペットプローブ顕微鏡微細加工システムの開発
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プラスチックMEMS技術を用いた透過型カラーディスプレイ
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大面積MEMS技術に整合した黒板型リライタブルディスプレイ
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三次元交流磁界の磁気光学映像法
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シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
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圧電PZT薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発
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スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
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UVナノインプリントを用いた高アスペクト比Siナノ構造体の作製
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マイクロヒータの自己発熱による高温熱処理パイロポリマーの実現
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位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
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薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
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差動共振型加速度センサとオーバートーンPLL回路によるその駆動検出回路
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AN INNOVATIVE POLYMER-BASED MICROPUMP
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Fishbone音響センサの任意複素周波数特性RFインターフェースの原理
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電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
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高分解能,並列動作マイクロアクチュエータを用いた微小量液制御シリンジ
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