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水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化
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極薄シリコンとガラスの陽極接合における接合部のグロー放電分光分析
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ソフトアクチュエータ用圧電高分子センサの作製と評価
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積層圧電素子の振動発電による加速度センサの駆動
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フレキシブルデバイス応用に向けた取り外し可能なシート間の電気接触の提案
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リフトオフ形成Pt電極上へのPZT薄膜作製
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(Zn,Mg)Cr2O4-TiO2系2層P型半導体セラミックスによる直熱型ガスセンサ
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エレクトロスピニングにより作製したナノファイバーのタンパク質吸着特性の解析
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簡易免疫検査システム構築のためのセンサチップ試作
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イオン液体を用いたフレキシブルな湿度センサ
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積分型SOIピクセル検出器によるX線イメージングとDAQ開発について
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サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ
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加工した基板上へのPb(Zr,Ti)O3のスパッタ成膜と特性評価
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生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ
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金ナノ粒子分散高分子膜のレーザ微細加工における粒子サイズの影響
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傾斜露光による細胞実験用空気圧バルブの開発
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自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化
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シリコン貫通記録(TSV)と三次元集積化技術の研究開発動向
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Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成
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CMOSダイアフラムとLTCC貫通ビアの集積化による3軸触覚センサの試作
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IoT時代の実現に向けて今なすべきこと
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圧電駆動型超音波トランスデューサのダイアフラム直径変更による受信感度および共振周波数への影響
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金ナノ粒子直線状配列を用いた表面増強ラマン分光の特性評価
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低侵襲内視鏡手術への適応に向けた動物体内でのMEMSセンサ埋め込み型フードの有効性検証
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人体数値モデルの組織組成に着目した人体内部抵抗の数値解析
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走査型プローブ顕微鏡とインデンターによるシリコーンゴムの硬化の検出
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イオンビームアシスト法により作製したDLC薄膜の電気的特性
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Nd-Fe-B系熱間加工磁石の磁気特性
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磁場ガイディングによるレーザーアブレーションプラズマのイオン電流密度分布への影響
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トロイダルプラズマの抵抗性壁不安定性のフィードバック安定化‐制御系の高度化によるプラズマ性能改善
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放電プラズマが光触媒のNOx分解反応に与える影響
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養液栽培における放電生成物の成長促進効果
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異なるプラズマ源による活性種供給量と殺菌効果の検証
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九州における水銀整流器の研究開発史(I)
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テクノアートクラフトによる和歌の情景表現
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集束イオンビームによるカーボンナノ/マイクロチューブへの電極形成および電気的特性測定
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