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水晶発振回路式複素容量センサによる乳化状態のモニタリングシステムの開発
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圧電薄膜匂いセンサを用いた室内緑化空間の空気質ダイナミクス計測
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多層カーボンナノチューブのガス選択検知における欠陥導入効果
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TiNマイクロヒータを用いた熱式MEMSフローセンサ作製プロセスの検討
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絶対圧力センサを用いた水中二次元流速センサ
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高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸リチウム円筒振動子の開発
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エレクトレットセンサにおける絶縁層のパターニングがエレクレットの電荷保持特性に及ぼす影響
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ジルコニア構造体Cr-N薄膜圧力センサによる水素ガス中圧力測定
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3Dプリンタで一括成形可能な三軸フォースプレート
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MEMS差圧センサとニューラルネットワークによる風向・風速センサ
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IoTセンサを用いた日常生活での活動状態の収集と解析
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生体内を遠隔操作可能な近赤外応答ソフトアクチュエーターの開発
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マイクロ流体デバイス内におけるベーマイトを用いたSERS構造への 分子の吸着依存性
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圧電方式の指紋センサに関する基礎検討
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発泡超弾性体と導電性繊維を用いた触覚提示スマートウェアの開発
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マイクロ波ドップラーセンサを用いた非接触生体認証
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マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の加熱合成における流量の影響
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MOSFETのチャネル抵抗を用いたピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ
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音響放射力を用いたMEMS光スキャナの特性評価
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超撥水性傘型ピラーアレイデバイスを応用したサレン型亜鉛(II)錯体の合成と反応過程のリアルタイム観察
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SEM用引張試験デバイスに対応する外部引張試験機の開発
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小型デバイス応用を鑑みた PLD 法による Sm-Fe 系磁石膜の作製
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Pin型MEMSによる神経細胞の機械特性計測
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取り出し可能なマイクロ流路内での含錯体タンパク質結晶化
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エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性
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表面弾性波を駆動源としたマイクロホットスターラー
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窒化シリコンによるメタサーフェスホログラムの透過率と回折効率の向上
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サブミクロンピッチ回折格子を持つプラズモニック光検出器による連続的な波長光源を用いた分光
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容量可変ダイオードを用いた分割リング共振器間の電磁的相互作用の定量的評価とセンサー応用
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胃酸発電で充電する「飲む体温計」のためのMgペースト電極の開発
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引張変形のTEM内観察用シリコンデバイスの設計
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Al2O3エレクトレット膜被覆Siナノワイヤのピエゾ抵抗効果
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ステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜の圧電縦効果による振動発電特性
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導電性薄膜作製に向けたDNA/ポリアニリン複合体の調製
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衝撃波圧縮機構を応用したマイクロスケール遠心ウェーブロータの製作
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ウエハレベルパッケージングを利用した薄型ひずみセンサの加工プロセス
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