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ハズバンダリトレーニング時において計測可能な体動除去アルゴリズムを搭載した心拍センサの開発
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真空封止用Au/Ta/Ti接合層を用いたガス吸収プロセスの開発とその低温化
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低温接合応用をめざしたテンプレートストリッピング法による セラミックス接合面の平滑化
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高感度化座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析
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毛髪の繊細な手触り感変化を取得する低侵襲型高分解能触覚センサの開発
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アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成
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ビルドアップ法で形成する厚膜磁石を利用した極細モータ
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超小型原子時計の量産化に向けた3.5GHz帯圧電薄膜発振器の研究開発
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汗中乳酸モニタリングシステムによる低発汗時の乳酸分泌動態評価
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植物末端部の水分含有量を常時測定可能な超小型センサデバイスの提案と実証
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グラフェンインクとTMPDを用いたNOガスセンサ
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ストライプ状ガスグリッドへの電圧印加によるガス透過特性制御
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ウシ血清アルブミン固定化シートを用いたエンドウの根滲出物の可視化
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経皮放出される血液由来VOCsのリアルタイム定量イメージングシステムの開発
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MEMS sensors for single-cell biophysical analysis
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Study of Perception of Odor in Human Compared to Gas Sensor in the Case of Ammonia
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Recent Progress on Quartz MEMS Sensors
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Interdigitated Sensor for Ketamine Quantification - Sensor for drug -
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Doppler Radar 24GHz System for the Detection of Human Motions - A Radar for motion -
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MACE表面ナノホールのシリコンナノワイヤ垂直成長促進効果
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コアシェル構造SiCナノワイヤの界面静電場によるピエゾ抵抗効果の制御
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単結晶シリコン薄膜定常クリープ特性の結晶方位依存性
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シリコンマイグレーションシール(SMS)低温化のためのリリースホール形状の最適化
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伸縮性切り紙バイオプローブのアクティブマトリックス化
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磁気光学効果を利用した光ファイバ圧力センサ
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パリレンを応用したフレキシブルSiマイクロニードル電極アレイの製作
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MEMS振動発電型イベントドリブンセンサを用いた橋梁の低消費異常周波数監視システム
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電気的観察を可能とするイオン液体添加 PVDF ピンセット型柔軟デバイス
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プラズモニック超小型分光素子の波長分解能の評価
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心疾患等における病理学的変化を捉えるペン型脈波計測システム
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微小周期構造体の周期変化時における機械振動子のQ値評価
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化学イメージングと同時一括センシングのためのバイポーラ電極アレイ
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単一細胞マイクロアレイのウェル形状最適化とカルシウム応答解析への応用
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高密度マイクロニードル電極アレイによるマウス脳多チャンネル計測と空間分解能評価
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