コレクション: 論文誌(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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チタン薄膜を接合材料として用いた高真空ウエハレベルパッケージ
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微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング
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対面形吸着層を用いた半導体式薄膜ガスセンサの研究
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POCTを指向した自律型遠心マイクロ分注機構の開発
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電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ
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水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合
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嗅覚・力覚を用いたネットワーク型風船割りゲームにおける公平性の評価
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パーソナル領域かつ秒単位に限られた芳香における精油によって異なる行動学的影響
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気体通過型映像表示装置によって生成される清涼感心理効果
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匂い強度増幅装置の開発に関するレビュー:実濃縮と虚濃縮によるアプローチ
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香りセンサの標準化データを用いたリンゴ判別力の検証
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「バーチャルリアリティを実現するセンサ,アクチュエータとディスプレイ」――特集号によせて――
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SiN多孔膜を有するマイクロウェルを用いた単一ニューロンの長期培養
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MEMS後加工のLSIの高耐圧化への利用に関するレビュー
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Pd系金属ガラスを用いた高速応答・低消費電力容量型MEMS水素センサに関するレビュー
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LSI一体集積のためのシリコン上PbS量子ドット赤外フォトダイオードの試作
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スクイーズフィルムダンピング抵抗の制御によるMEMSマイクロフォンの高SNR化
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高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ
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超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンの開発に関するレビュー
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薄膜メタマテリアル実現に向けたフレーム構造のTHz応答解析
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組織の形態形成解明に資するマイクロ流体デバイス内での血管網の構築とその応用
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Droplet-free Digital ELISA法によるたんぱく質の高感度同時多項目検出
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第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集号によせて
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複合エッチング加工技術を用いた基板表面への微小3次元構造アレイの作製
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TiNを用いたMEMSガスセンサ用マイクロヒータの作製と評価
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光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価
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並列設置型積層圧電素子を用いた振動発電による加速度センサの駆動
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低濃度乳酸モニタリングのための酵素プリンティングによる酵素電極センサ
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Resonant Accelerometers using Electrostatic Potential between the Comb Electrodes
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パルス射出方式による微小液滴制御とそれを用いた高効率SAW霧化システムの検討
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結晶方位分布関数による結晶集合組織のピエゾ抵抗表記
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単一細胞固定のためのマイクロ傾斜ウェルアレイの開発
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無機半導体pn接合を用いたアレイ化電気化学センサの研究
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熱型絶対湿度センサの高湿度・結露環境に向けた要素技術開発
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環境分析や食品安全のための高次ナノ構造体を用いた微量分子検出システムの検討
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確率共振を用いたハイブリッド振動エネルギーハーベスタ
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