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微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価
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スパッタ法を併用したPLD法で作製した金属ドープ酸化タングステンのNOxガスセンサ特性
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マイクロ光造形・鋳型技術に基づく超３D造形技術プラットフォームの開発と応用
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Fracture Fabrication: 破壊を制御しデバイスを創製する
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高感度a-InGaZnO TFT pHセンサのドリフト制御とVgs出力応答
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水俣条約に対応するオンサイト水銀検知システム
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異方性光成長による金属成長核連結による配向性光学ナノ構造の作製
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温度応答性ゲルを用いた構造色ハイドロゲルセンサの応答特性制御
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アレイ型磁気センサモジュールによるリチウムイオン電池の微小欠陥電流検知
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新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工
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圧電MEMSデバイスの開発
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光方向性結合器型化学センサによる表面特異吸着物質の検出
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連続電気滴定用水質計ユニットの開発
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微小セル型アンペロメトリック酵素センサの研究
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IOT向け小型センサモジュールの開発
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8角形MOSFET型ホール素子の試作評価とマルチセンサ化の検討
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LAASマイクロアレイを用いたスクリーニング技術の研究
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骨格筋組織破砕のためのマイクロミルの性能向上
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開閉可能な人工生体管デバイス上における血管構築
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シリコンウィスカ単電極モジュールを用いたマウス大脳皮質ニューロン計測
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誘電分散解析用アレイデバイス化計測システムとリポソーム－タンパク質間相互作用の評価
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運動負荷の評価に向けた皮膚表面における乳酸分泌量のリアルタイム計測システム
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LZMWを用いたキネシンによるATP加水分解サイクルの可視化
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光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価
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心拍信号検出を目的とした温度補償機能付カテーテル型流量センサの開発
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低水分土壌計測を可能とするシールド電極型土壌インピーダンスセンサの開発
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電磁波による農産物水分量の非破壊動的計測手法の開発とその応用
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肺機能評価を目的としたバスケット鉗子搭載型MEMS流量センサの開発
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A NOVEL PRESSURE SENSOR WITH BUILT-IN OVERPRESSURE PROTECTION UTILIZING THREE-DIMENTIONAL ETCHING AND WAFER-LEVEL STACKING TECHNOLOGY
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低検出限界を目指した電荷蓄積技術を適用したフィルタフリー蛍光検出センサ
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フィルタフリー蛍光センサによる低濃度溶液を用いた励起光と蛍光の同時測定
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口腔内グルコース計測のためのマウスガード型バイオセンサの開発
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運動動作計測を可能とする高耐荷重な靴底3軸床反力分布計測システム
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マイクロ・ナノ医療デバイス
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ポリマーMEMSのプロセス設計
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光
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