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金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス
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静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御
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柔軟なドライ電極による植物の電気インピーダンス測定
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キャパシタ分割を用いた高感度なMRI用マイクロコイル
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多層膜積層型微細構造による太陽光選択吸収材料
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Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ
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反射型ＳＡＷ遅延素子を用いたトルクセンサ
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光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価
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全溶液プロセスによる抵抗変化型メモリと触覚センサ融合記憶デバイス
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低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合における薄膜Sn層の役割
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多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発
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低表面エネルギー材料をモールドとした離形処理フリーナノインプリント法
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極薄圧電ひずみセンサを用いたフレキシブルセンサアレイシートの開発
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海中原子間力顕微鏡 －深海における自己検知型カンチレバーの利用－
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表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製
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インクジェット工法を用いたシンプルな圧電式環境発電デバイスの作製プロセス
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ドライ転写技術による自立単層グラフェン構造の製作
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経皮吸収製剤を目的とした先端分離型マイクロニードルに関する研究
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1.6 ?m - 1.7 ?m複合型MEMS波長可変VCSELの開発
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DNAナノ構造設計のための２重螺旋DNA粗視化分子動力学モデルの構築
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200MPaの圧力を測定可能なシリコンレゾナント圧力センサの開発
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ピエゾ抵抗熱機関を利用した静電駆動型振動子
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【招待講演】生命科学分野を革新的研究を拓くイオンイメージセンサ
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逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性の解明と触覚センサ開発への応用
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小型加速度センサを用いた傾き角度推定に基づくパーキンソン病姿勢異常の定量評価
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改良型減圧機構を用いたグルコース駆動式薬物放出システムに関する研究
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加速度・角速度センサを用いた歩行運動の軌道推定と診断支援への応用
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圧電素子を電源と信号源に用いたバッテリレス・ワイヤレス電子ドラム構成
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ハブ発電機とMRAMを用いた自転車用バッテリレス・センサレススピードレコーダ
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布状ウェアラブル導波路上の着脱式センサノードのRFIDタグを用いた位置推定
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片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径、結晶方向依存性
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反応性スパッタ法によるTiO2薄膜を用いたバイオケミカルデバイス用機能表面の開発
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伸縮性ナノシート自立膜の製作および光学機械特性評価
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VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤの MEMS援用ピエゾ抵抗特性評価
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