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光・多軸力複合MEMSセンサによる多層柔軟物の変色・ひずみ評価
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半導体ひずみセンサを用いた耐腐食型圧力センサの開発
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マイクロ流路を用いた巨大環状DNA１分子の リアルタイム直接イメージングと挙動解析
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PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス
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PDMSマイクロ流路内壁へのLSIチップ埋め込み
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無線センサネットワーク端末のための微小圧力変化検出スイッチ
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光源をレーザ距離計に用いた ＭＥＭＳ型インタラクティブ・レーザ描画ディスプレイ
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細胞固定化システムを用いた膜タンパク質の機能解析
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単一神経細胞をモジュールとして扱う神経回路アセンブリ
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低消費電力貼り付け型センサのためのテンプレートマッチングを用いたロバスト心拍抽出手法の開発
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残留農薬用センサチップの開発
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シリコン微細加工技術を用いた320umピッチの流路を有する 大気圧プラズマジェットアレイの製作と評価
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熱駆動型金属ナノスリットを用いたマイクロ光学位相変調器
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NFTSナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサ
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超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価
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MEMS熱流束センサによるウェアラブル深部体温計の提案
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真空中細胞観察のためのSi薄膜窓を有するマイクロチャネル型チャンバー
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腱様構造付き骨格筋アクチュエータの構築
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還元基修飾インターカレータによる1本鎖／2本鎖DNA複合体の部位特異的金属被覆
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ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり
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超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
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魚群探知機の誕生と発展
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Si(100)基板上への結晶配向γ-Al2O3薄膜とCMOS回路のインテグレーション及びその評価
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薄膜間の剥離エネルギー差を利用した金属素子の加工プロセス
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チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオンエッチング法の開発
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遠心法による高速DNAファイバ解析デバイスの操作特性
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低周波鉛直加振による液体定在波を利用した酵母細胞の流路レス凝集
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Parametric EPR測定法の提案と測定
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静電型 MEMS 振動発電素子の実振動発電量シミュレーション
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音響空洞を備えた共振型焦点可変ミラー
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薄膜Si上に形成したMEMS可変メタマテリアルにおけるフレームの影響
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誘電泳動デバイスにおける捕捉粒子数の構造・制御因子依存性の数値検証
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屈曲点が調整可能な空気圧バルーンアクチュエータ
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高速高精度細胞操作に適したマイクロハンド用エンドエフェクタの開発
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