コレクション: 論文誌(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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<他の論文誌(論文単位)>
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コンパクトモデル・マクロモデルによるMEMS/電子回路の連成シミュレーション
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Spontaneous Oscillation due to Electrical Charging Effect in MEMS Electrostatic Switches
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Micro-Fluidic Channel Integration on Thick-SOI LSI Device for Biological Application.
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自己組織化有機単分子膜/AgCl混合表面の構築と電気化学特性
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ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして高周波スパッタリングにより成膜した有機薄膜の揮発性有機化合物の吸着特性
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センサ用低電圧CMOSインバータ型差動増幅回路の設計と評価
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バイナリー振動を示す非線形結合シリコン振動子
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パルス電流印加ゲート構成によるFET水素センサの応答特性の高速化
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2D Asymmetric Silicon Micro-Mirror Fabricated with Anodic Bonding between an Ultra-thin Silicon Film by Laser Micro-Processing and a Glass Substrate
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電子式キャビティーリングダウン分光分析について
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「科学・技術の地産地消」モデル構築による, 持続可能な学都「仙台・宮城」サイエンスコミュニティ形成にむけて
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誘電泳動デバイスにおける電極構造と捕捉粒子数の数値相関検証
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光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測
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エアロゾル充填によるセンサ用マイクロ熱電変換素子の高熱抵抗化
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アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性
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植物生体電位を用いた人の振る舞い認知システムの開発
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CMOSイメージセンサ
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MEMS圧力センサの基礎と発展
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加速度センサ・角速度センサ(ジャイロスコープ)
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フィジカルセンサの基礎と発展
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「フィジカルセンサの基礎」―解説特集の企画にあたって―
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低温接合技術と光エレクトロニクスデバイス応用に関するレビュー
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熱機械駆動スイッチと強誘電体を組み合わせた熱-電気変換素子
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