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無方向性電磁鋼板の薄板化による磁区構造変化の観察
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軟磁性異形粉末の磁区構造と磁化過程
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Fe粉末における扁平化と高周波磁気特性
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ガラス/Fe-Co複合ターゲットを用いた高周波用磁性膜の開発
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Ni/Pt 2層膜における一方向性スピンホール磁気抵抗効果の測定
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Co-Fe-B薄膜におけるスピンダイナミクスの下地層による効果
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L10型FePtグラニュラ薄膜の構造・磁気特性の粒界材融点依存性
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高保磁力Sm-Fe-Ti系粉末の作製
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MEMS応用に向けて真空アーク蒸着法により作製したNd-Fe-B系厚膜磁石
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第一原理計算とスパッタ成膜によるFeCoVNのbct構造安定性の評価
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嗅覚センサ歴史・現状・課題
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MEMS技術を応用した小型ガスクロマトグラフの開発
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健康IoT社会のためのバイオセンシング
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シリコンMEMS素子に適用可能なエレクトレット技術
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ＭＥＭＳ振動発電の効率とは？
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ソフトマイクロマシンのバイオメディカル応用
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フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作
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Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成
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円筒面上の厚膜レジストの低温リソグラフィとNi電鋳を用いた能動カテーテル骨格部の一括形成
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環境試験チャンバ内におけるマイクロスケールシリコンの強度測定
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ピエゾ抵抗素子を用いた引張応力測定機構を有するナノスケール引張試験デバイスの作製
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電子顕微鏡内での引張変形観察を目的とした マイクロデバイスの開発
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マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成
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液体金属液滴の流路内移動操作性の向上
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撥水層付与による電気的液滴高さ制御の向上
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液体金属を用いた電子部品実装における接触抵抗の経時変化計測
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背面光照射による表面プラズモン共鳴のためのMEMS回折格子構造
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低侵襲医療ツール用光干渉細径変位センサ
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チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価
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接触界面に微細ピラミッド構造配列を有するトライボ発電デバイス
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閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実効帯域向上
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外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討
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SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチュエータアレイ／個別通電用TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成
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小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討
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Tactile Sensor Module with LSI-Diaphragm Flip-Chip Bonded to Printed Circuit Board
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MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察
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