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小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ
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簡易検波回路を用いた磁気センサ(フラックスゲートマグネトメータ:FGM)の開発
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応力補償構造を用いたScAlN振動発電デバイス
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レーザ加工とインプリント加工の複合プロセスによる セラミック3次元マイクロ流路の開発
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道路インフラモニタリング用MEMS歪みセンサの開発
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超音波ねじり振動子による単分散液滴を用いたナノ粒子生成
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減圧ドライ転写技術を用いた真空キャビティ構造をもつグラフェン共振器の製作
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磁歪材料を用いた共振型磁気センサ
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Q値に依存しない広帯域特性を示す振動発電素子の開発
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環境汚染物質の除去を目指したゲル型マイクロモータの構築
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フェムト秒レーザ照射による温度応答性ゲル内部への金属粒子析出プロセスの開発
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左右対称エレクトレットくし歯電極による広帯域振動エナジーハーベスタ応用
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超電導電力貯蔵装置を小型化するための渦巻溝形成と壁面の低スキャロップ化
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電気機器から発する磁界強度と周波数分布の計測
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可変応答平滑法を適用した列車の運行予測に関する検討
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パルス光を用いた多点化ファイバブラッググレーティングによる振動測定
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Structural robustness of different crossover/nick designs of 2D DNA origami
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犠牲DNAオリガミ技術とナノギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用
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実機モータコイルにおける繰り返しインパルス電圧下の部分放電開始電圧に与える前課電効果
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小型パッチ式乳酸モニタリングシステムの運動時における代謝状態のリアルタイム評価への応用
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自己組織化DNAナノワイヤの直径と配列の制御に向けたプロセス検討
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MEMSミラーを用いたスマートグラス型眼底検査装置の製作
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皮質脳波活動の水平伝搬ベクトル検出技術
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ゲージファクター5,000を有する超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンのデモンストレーション
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超音波診断用CMUTの積層薄膜構造の検討
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金アンテナ構造によるプラズモン共鳴を用いた中赤外シリコンフォトディテクタ
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Pd系金属ガラスを用いた容量型MEMS水素センサー
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全血での血液検査パッチを目的とした採血用マイクロニードルの開発
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ZnO単結晶層を用いたUVセンサ感度向上のための電極間距離依存性の検討
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磁性粒子分散表面層による自己組織型しわ構造の制御
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Ir/YSZ/Si上に成膜したダイヤモンドを用いた振動子の作製と評価
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誘電泳動による高次ナノ構造体創製と分子センシングへの適用
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焼酎粕活性炭の細孔構造と電気二重層キャパシタ特性の関係
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複合アラミドペーパーの電磁波特性
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スフェロイドを対象としたがん細胞結合ペプチド探索の洗浄過程デバイス
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藻類を利用した環境光応答デバイスアレイの開発 ―並列的な構造物駆動手法の確立―
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